Vergrößerung und Auflösung
Maßgeblich für die erreichbare Objektauflösung ist die Position der Probe in dem kegelförmigen Strahlengang der Röntgenquelle. Die maximal mögliche geometrische Vergrößerung ist abhängig vom Verhältnis des Abstands zwischen Röntgenquelle und Detektor (Fokus-Detektor-Abstand) und des Abstands zwischen Röntgenquelle und der Probe (Fokus-Objekt-Abstand).